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电解抛光技术
半导体晶圆厂所用的设备及零组件都需要经过电解抛光处理，以确保流道表面的质量不会影响制程气体的洁净度及纯度。在目前半导体晶圆厂，以八吋晶圆厂为例，光是使用于传输制程气体系统的管件接头就至少需要20万颗。每一气体输送环节里都会影响到制程的可发布时间：2015-11-24 点击次数：118
昆山市新镇抛光厂
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